合肥通富微电子有限公司存储器芯片封装测试生产线建设项目竣工环境保护验收意见
2023年6月12日,合肥通富微电子有限公司组织召开了存储器芯片封装测试生产线建设项目竣工环境保护验收会。与会代表查看了项目现场及周边环境,并根据合肥通富微电子有限公司存储器芯片封装测试生产线建设项目竣工环境保护验收监测报告及《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》(国环规环评【2017】4号),严格依照国家有关法律法规、建设项目竣工环境保护验收技术规范、本项目环境影响报告书和审批部门审批决定等要求对本项目进行阶段性验收,提出意见如下:
一、工程建设基本情况
(一)建设地点、规模、主要建设内容
合肥通富微电子有限公司建设地址位于合肥经济技术开发区卫星路以北、桃枝路以东,为新建项目。环评中主要从事动态存储器产品封装测试,可年产动态存储器产品封测 WBGA10800 万颗、动态存储器产品封LPDDR3600 万颗;本次新增生产线可年产存储器封装测试产品1.44亿颗,实际总投资95500万元。
(二)建设过程及环保审批情况
公司于2021年委托安徽环境科技研究院股份有限公司编制了《合肥通富微电子有限公司存储器芯片封装测试生产线建设项目环境影响报告表》,并于同年11月9日经合肥市生态环境局“环建审【2021】11114号文”审批。项目从环评审批至试运行过程中无环境投诉,违法或处罚记录等。
(三)投资情况
项目本次阶段性验收实际总投资为95500万元,其中实际环保投资为300万元,占总投资额的0.31%。
(四)验收范围
本次验收针对合肥通富微电子有限公司存储器芯片封装测试生产线建设项目1#厂房二层新增的存储器芯片封装测试生产线及其配套工程、环保工程;以及现有一期项目已建挥发性有机物治理设施升级改造、新增污泥烘干区及配套环保设施进行竣工环境保护“三同时”验收。
二、工程变动情况
本项目实际建设情况与环评及批复对比,发生如下变动:
环评新增一套一般清洗废水处理系统,实际未新增。
三、环境保护设施建设情况
(一)废水
本次扩建项目废水主要为一般清洗废水、职工办公生活污水、食堂废水、纯水制备产生的浓水。一般清洗废水水经预处理装置处理后通过中水回用系统再次制取纯水,回用于生产,中水回用系统产生的浓水排放至厂区污水处理总站处理后与经化粪池处理的生活污水、经隔油池处理的食堂废水一起排入经开区污水处理厂,处理达标后排入派河。
(二)废气
本次扩建项目产生的废气主要为基板刷胶、基板烘烤、装片固化、塑封、后固化、植球工段、维修间进行热压板清洗产生的挥发性有机废气(非甲烷总烃)以及植球产生的锡及其化合物,辅助工序新增污泥烘干产生的废气、化学品库和危废暂存区挥发出的有机废气(非甲烷总烃),以及现有工程固化工序废气治理设施改造。
非甲烷总烃区域为密闭区域,内部自带废气收集装置收集后由引风机(风机风量28000m3/h)引至二级活性炭吸附处理装置处理后经1根25米高的排气筒(DA004)排放。
污泥烘干区产生的废气主要为氨,污泥烘干区密闭,烘干废气经收集后通过一套生物除臭装置(处理效率 90%)处理后经一根25m 高排气筒(DA005)排放。
厂区化学品库和液体危废存储区涉及挥发性有机废气区域分别进行集气罩局部收集后汇入同一套二级活性炭吸附装置处理后经一根高 25m 排气筒(DA006)排放。
厂区固体危废存储区废活性炭暂存区域进行集气罩局部收集后汇入同一套二级活性炭吸附装置处理后经一根高 25m 排气筒(DA007)排放。
现有一期传统封装涂胶塑封固化工段废气通过处理设备升级经一套“二级活性炭吸附装置”(处理效率为 95%)处理后经现有一根 1 根 25 米高排气筒(DA002)排放。
(三)噪声
本项目噪声主要是风机、空压机、水泵、冷冻机组、冷却塔等设备运行时产生的噪声,其声级值为75~90dB(A)。通过选用低噪设备,设置减振基座,设置单独设备房,厂房隔声等措施降噪。
四、环境保护设施调试效果
(一)污染物达标排放情况
1、废水
根据安徽品格检测技术有限公司(报告编号:PG23051510)监测报告显示,验收监测期间,项目污水总排口处废水pH值范围分别为6.6-7.4;氨氮日均浓度分别为10.9mg/L、10.03mg/L;COD日均浓度分别为63mg/L、62mg/L;BOD5日均浓度分别为22.5mg/L、21.3mg/L;SS日均浓度分别为29mg/L、26mg/L;动植物油日均浓度低于检出限,废水中常规污染物排放满足GB8978-1996《污水综合排放标准》中三级标准和经开区污水处理厂接管标准,特征污染物满足GB21900-2008《电镀污染物排放标准》中表2标准和经开区污水处理厂接管标准,单位产品排水量为0.33m3/千块产品,满足《电子工业污染物排放标准》表3“单位电子产品基准排水量”中半导体器件封装测试单位产品基准排水量2.0m3/千块产品的标准要求。
根据厂区污水处理总站的进口、出口监测数据,核算污水处理装置对氨氮、COD、BOD5、SS、动植物油的处理效率可得:①污水处理总站对氨氮的处理效率约35%-65%;②污水处理总站对COD的处理效率约为9%-54%;③污水处理总站对BOD5的处理效率为33%-73%;④污水处理总站对SS的处理效率为34%-65%。
2、废气
根据安徽品格检测技术有限公司(报告编号:PG23051510)监测报告显示,验收监测期间:DA002排气筒非甲烷总烃最大排放浓度、最大排放速率分别为2.46mg/m3、4.84×10-2kg/h,满足天津市《 工业企业挥发性有机物排放控制标准》( DB12 / 524-2020);DA004排气筒非甲烷总烃最大排放浓度、最大排放速率分别为2.79mg/m3、5.88×10-2kg/h、锡及其化合物最大排放浓度、最大排放速率分别为1.14×10-3mg/m3、2.36×10-5kg/h均满足上海市《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015)表1中大气污染物项目排放限值;DA005排气筒氨最大排放浓度、最大排放速率分别为8.85mg/m3、3.67×10-2kg/h,硫化氢最大排放浓度、最大排放速率分别为0.10mg/m3、4.15×10-4kg/h,均满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)中标准要求,氯化氢最大排放浓度、最大排放速率分别为0.10mg/m3、4.15×10-4kg/h;硫化氢最大排放浓度、最大排放速率分别为1.27mg/m3、4.95×10-3kg/h,满足《 大气污染物综合排放标准》( DB 31 / 933 - 2015 );DA006排气筒非甲烷总烃最大排放浓度、最大排放速率分别为3.49mg/m3、3.8×10-2kg/h,DA007排气筒非甲烷总烃最大排放浓度、最大排放速率分别为2.83mg/m3、3.13×10-2kg/h均满足上海市《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015)表1中大气污染物项目排放限值。
①项目基板刷胶、烘烤、固化、塑封、植球等废气和热压板清洗废气处理设施进口处、固体危废存储区废气处理设施进口处均为弯管,不具备监测条件,故未监测其进口数据,未核算非甲烷总烃处理效率。②根据污泥烘干区生物除臭进出口数据核算,平均氨处理效率为20%,硫化氢处理效率为41%,氯化氢处理效率为55%。③根据化学品库和液体危废暂存区废气处理设施二级活性炭进出口数据核算,非甲烷总烃处理效率46%。
厂界非甲烷总烃最大浓度为1.33mg/m3,满足《 大气污染物综合排放标准》( DB 31 / 933 - 2015 )(非甲烷总烃≤4.0mg/m3)和《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB37822-2019)表A.1中标准;氨最大浓度为0.08mg/m3,硫化氢未检出,均满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)厂界标准值(氨≤1.5mg/m3、硫化氢≤0.06mg/m3);氯化氢最大浓度为0.109mg/m3满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)中表 2中相关限值;锡及其化合物最大浓度为6.23×10-4mg/m3满足《 大气污染物综合排放标准》( DB 31 / 933 - 2015)(锡及其化合物≤0.06mg/m3)。
3、噪声
根据安徽品格检测技术有限公司(报告编号:PG23051510)监测报告显示,验收监测期间,项目区东、南、西、北侧厂界噪声昼间最大值为64dB(A)、夜间最大值为54dB(A),满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中3类标准要求。
4、固体废物
生活垃圾:职工办公生活垃圾、厨余垃圾年产生量约为35.64t,生活垃圾分类袋装化,交由环卫部门处理;
一般固体废物:自动贴膜、磨片&贴膜以及 WBGA 的装片工序产生的废膜,废膜的总产生量为0.03t/a,交由再生资源公司统一回收处理;
废卷轴和塑料包装袋产生量为 15t/a,交由再生资源公司统一回收处理;
不合格品,产生量为 0.03t/a;返回供应厂商;
废塑封料产生量为 0.16t/a;交由再生资源公司统一回收处理;
废弃焊球:产生量为 0.11t/a;返回供应厂商;
不合格品产生量为 0.03t/a;返回供应厂商;
纯水制备废 RO 膜:产生量为 0.2t/a;返回供应厂商;
中水回用系统废管式膜:产生量为1.88t/5a;返回供应厂商;
废包装袋:产生量为 0.1t/a;
危险废物:废活性炭产生量为340.67t/a;废胶瓶0.5t/a;废助焊剂瓶产生量约为 0.5t/a。废酒精年产生量为 7.2t/a;污泥量为107t/a。集中收集后暂存于危废库中,定期交由。厂区共设置2处危废库,危废库1位于固废站南侧,建筑面积约300m2,主要用于储存废活性炭等,危废库地面已设置防腐防渗,已设置围堰,危废库已分区存放,并在危废库内北侧设置导流沟、收集槽(1.44m2);危废库2位于化学品库东侧,建筑面积约75m2,主要用于储存沾染物,危废库地面已设置防腐防渗,2个危废库均可以有效防止二次污染,并在门口设置危废库外部标识,规范建立了危废台账、对危废张贴进出标签。
通过采取以上措施,本项目验收产生的固体废物均得到回收利用或有效处理,不会对项目区外环境产生影响。
五、验收结论
项目执行了环境影响评价制度,环境保护审查、审批手续完备,按照环评及批复的要求落实了污染防治措施,污染物达标排放,总体符合验收条件,验收工作组原则同意合肥通富微电子有限公司集成电路先进封装测试产业基地(一期)项目通过阶段性竣工环境保护验收。
六、后续要求
1.完善项目环评批复要求与实际落实情况对照表,重点说明变化情况。
2.确保污染治理设施长效稳定运行。
3.加强危废的日常管理。
七、验收人员信息